特許
J-GLOBAL ID：200903096812413077

シャドウマスク及びその製造方法並びにシャドウマスクを用いた有機ELディスプレイの製造方法

発明者：
福沢 真一

福沢 真一 について

, 
大槻 重義

大槻 重義 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-301844
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133443
出願日： 1998年10月23日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】エレクトロルミネッセンスの発光素子領域の微細化を可能とした、シャドウマスク及びその製造方法、並びにシャドウマスクを用いた高精細な有機ELディスプレイの製造方法の提供。【解決手段】一側表面にエッチストッパとなる二酸化シリコン膜12を備え、マスクの機械的強度を保持しうる厚さの支持体用シリコン10と、エッチングによる加工の精度を保てる薄膜のシリコン板14とを、二酸化シリコン膜が接合面となるようにポリイミドを介して張り合わせた構造からなり、シャドウマスクの開口部26が、該マスクの法線方向の断面形状において、支持体用シリコン側に開いたテーパー領域と、薄膜のシリコン板の一部からなり、開口中心に向かって突出した所定の厚さの突出部44とから構成される。
請求項（抜粋）：
蒸着材料を基板に蒸着するに際して用いられる所定のパターンに配置された開口部を有する蒸着マスクであって、前記マスクが、マスクを支持し、前記基板と同一材料からなる支持層と、所定の形状の開口を有し、前記基板と同一材料からなる表面層と、前記支持層と前記表面層の間に挿入され、前記支持層エッチストッパとなるストッパ層とを少なくとも含み、前記マスクの開口部が、該マスクの法線方向の断面形状において、前記支持層側に開いたテーパー領域と、前記表面層の一部からなり開口中心に向かって突出した所定の厚さの突出部とから構成される、ことを特徴とする蒸着マスク。
IPC (3件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/04 ,  H05B 33/14
FI (3件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/04 A ,  H05B 33/14 A
Fターム (22件)：
3K007AB04 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DA02 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029BA35 ,  4K029BA46 ,  4K029BA62 ,  4K029BB09 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029GA00 ,  4K029GA02 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K029HA07
引用特許：
審査官引用 (5件)
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