特許
J-GLOBAL ID：200903096816209237
液晶基板の貼り合わせ方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村山 光威
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-314365
公開番号（公開出願番号）：特開2004-151215
出願日： 2002年10月29日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：
【課題】位置合わせ回数を少なくし、液晶基板貼り合わせのタクトアップを図ることができる液晶基板の貼り合わせ方法を提供する。【解決手段】位置決め用マークが付与された上基板を吸着した上定盤と、同じく位置決め用マークが付与された下基板を弾性体を介して吸着した下定盤を真空チャンバー内に収容して対向配置し、表面にシール剤と液晶材料が塗布された下基板に上基板を貼り合わせる装置に適用される液晶基板の貼り合わせ方法であって、上基板のマーク位置を認識するステップ(SP1)と、下基板のマーク位置を認識するステップ(SP2)と、前記上下基板のマーク位置の差の絶対値を認識してこれが所定値であるかどうかを判断するステップ(SP3)と、前記ステップにおいて前記上下基板のマーク位置の差の絶対値が所定値でないと判断された場合、前記弾性体の変形量に相当する補正量を加えて下基板を移動させる移動指令を出すステップ(SP5,8)を含むものである。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
位置決め用マークが付与された上基板を吸着した上定盤と、同じく位置決め用マークが付与された下基板を弾性体を介して吸着した下定盤を真空チャンバー内に収容して対向配置し、表面にシール剤と液晶材料が塗布された下基板に上基板を貼り合わせる装置に適用される液晶基板の貼り合わせ方法であって、上基板のマーク位置を認識するステップと、下基板のマーク位置を認識するステップと、前記上下基板のマーク位置の差の絶対値を認識してこれが所定値であるかどうかを判断するステップと、前記ステップにおいて前記上下基板のマーク位置の差の絶対値が所定値でないと判断された場合、前記弾性体の変形量に相当する補正量を加えて下基板を移動させる移動指令を出すステップを含むことを特徴とする液晶基板の貼り合わせ方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02F1/13 101
, G02F1/1339 505
2H088FA03
, 2H088FA04
, 2H088FA16
, 2H088FA17
, 2H088FA30
, 2H088KA08
, 2H088KA30
, 2H088MA17
, 2H088MA20
, 2H089NA39
, 2H089NA60
, 2H089QA12
, 2H089QA14
