特許

J-GLOBAL ID：200903096817034570

集積型AFMセンサー

発明者： 戸田 明敏 ,  高山 美知雄
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-256855
公開番号（公開出願番号）：特開平5-248810
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】試料を高い分解能で測定することのできる集積型AFM変位センサーを提供する。【構成】集積型AFMセンサー10は、カンチレバー部12を備えている。カンチレバー部12は、支持部16から延出した二本のビーム12aと12bを有している。この二本のビーム12aと12bは先端で一体化して三角形状の自由端を形作り、この自由端には先端が鋭く尖った探針14が設けられている。このカンチレバー部12は、パッシベーション層24とピエゾ抵抗層22とシリコン層20とが積層され形成されている。カンチレバー部12の固定端では、ピエゾ抵抗層22に電気的に接続された電極18がコンタクトホール26を介して設けられている。

請求項（抜粋）：

変位に応じて抵抗値が変化するピエゾ抵抗層が設けられたカンチレバー部を備える集積型AFMセンサーにおいて、前記カンチレバー部の先端面には、この先端面から突出し且つ尖鋭化された探針が設けられていることを特徴とする集積型AFMセンサー。

IPC (3件)：

G01B 7/18 ,  H01J 37/28 ,  G01B 21/30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-001949
  
• 特開平3-218998
  
• 特開平3-277903