特許

J-GLOBAL ID：200903096819192599

研磨装置

発明者： 傳田 康秀
出願人/特許権者： 不二越機械工業株式会社
代理人 (1件)： 綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-027380
公開番号（公開出願番号）：特開2002-233948
出願日： 2001年02月02日
公開日（公表日）： 2002年08月20日
要約：

【要約】【課題】 定盤の研磨面の形状を的確に調整することを可能とし、高精度の研磨加工を可能にする。【解決手段】 研磨定盤10の内部に、研磨面と略平行に配設された圧力調節流路401〜405と該圧力調節流路に流体を給排する給排機構とがディストリビュータを介して連通して設けられ、前記給排機構と前記圧力調節流路との間で給排される流体の温度、流量、圧力あるいは流速を制御して研磨定盤の研磨面の形状を調節可能に設けた研磨装置であって、前記圧力調節流路401〜405が互いに独立した複数の流路に設けられ、前記各々の圧力調節流路が前記給排機構に個別に連通して、各々の圧力調節流路に通流する流体の温度、流量、圧力あるいは流速が個別に制御可能に設けられていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

研磨定盤の内部に、研磨面と略平行に配設された圧力調節流路と該圧力調節流路に流体を給排する給排機構とがディストリビュータを介して連通して設けられ、前記給排機構と前記圧力調節流路との間で給排される流体の温度、流量、圧力あるいは流速を制御して研磨定盤の研磨面の形状を調節可能に設けた研磨装置であって、前記圧力調節流路が互いに独立した複数の流路に設けられ、前記各々の圧力調節流路が前記給排機構に個別に連通して、各々の圧力調節流路に通流する流体の温度、流量、圧力あるいは流速が個別に制御可能に設けられていることを特徴とする研磨装置。

IPC (4件)：

B24B 37/04 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B24B 37/04 A ,  B24B 37/00 J ,  H01L 21/304 622 R ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (5件)：

3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17