特許
J-GLOBAL ID：200903096835570730
台形分割方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
石田 敬
, 土屋 繁
, 西山 雅也
, 樋口 外治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-314663
公開番号（公開出願番号）：特開2004-152880
出願日： 2002年10月29日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：
【課題】露光用データ作成時における微小台形図形の発生頻度を低減した可変成形型電子ビーム露光のための台形分割方法およびその装置を実現する。【解決手段】可変成形型電子ビーム露光装置における台形分割装置1は、最適な分割パターンを形成する分割線の組合せにおいて、所定の大きさよりも小さい間隔で互いに対向するような分割線対が存在するか否かを判定する判定手段11と、判定手段11で分割線対が存在すると判定されたとき、分割線対に直交するストッパー線を新たに設定し、このストッパー線を用いて台形分割すべき図形を分割する第1の分割手段12と、を備える。またさらに、判定手段11で分割線対が存在しないと判定されたときに、最適な分割パターンを形成する分割線の組合せを用いて台形分割すべき図形を分割する第2の分割手段13を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
可変成形型電子ビーム露光のための台形分割方法であって、
台形分割すべき図形の各頂点から第1の方向もしくは該第1の方向に垂直な第2の方向に引かれる分割線候補を列挙し、前記分割線候補の中から、前記台形分割すべき図形について最適な分割パターンを形成する分割線の組合せを決定する台形分割方法において、
前記最適な分割パターンを形成する分割線の組合せにおいて、所定の大きさよりも小さい間隔で互いに対向するような分割線対が存在するか否かを判定する判定ステップと、
該判定ステップで前記分割線対が存在すると判定されたとき、該分割線対に直交するストッパー線を新たに設定し、該ストッパー線を用いて前記台形分割すべき図形を分割する第1の分割ステップと、を備えることを特徴とする台形分割方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 541Q
, G03F7/20 504
2H097CA16
, 2H097LA10
, 5F056AA04
, 5F056CA05
