特許

J-GLOBAL ID：200903096836724138

表面検査用補助治具及びそれを用いた同点測定方法

発明者： 萩本 和徳
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-340153
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142563
出願日： 2001年11月06日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：

【要約】【課題】 半導体基板表面検査装置に対応した大きさに満たない半導体基板について、同点測定を可能とすることができる補助治具及び同点測定方法を提供する。【解決手段】 表面検査装置により該装置に対応した大きさに満たない基板の表面を検査する際に使用する補助治具であって、前記表面検査装置に対応した大きさを有するとともに、前記基板を収容する収容部と、該収容部に収容された基板を固定するための固定部を有することを特徴とする表面検査用補助治具。マークを付した装置対応直径未満の半導体基板を補助治具に収容して表面検査装置で基板表面のパーティクルや欠陥等について座標の測定を行い(A,B)、再度測定する際、マークの位置の座標に基づいて外部計算機で座標変換してアライメントを行い(C,D,E)、この座標変換データに基づいて最初に測定した基板表面のパーティクルや欠陥等について同点測定を行う(F)。

請求項（抜粋）：

表面検査装置により該装置に対応した大きさに満たない基板の表面を検査する際に使用する補助治具であって、前記表面検査装置に対応した大きさを有するとともに、前記基板を収容する収容部と、該収容部に収容された基板を固定するための固定部を有することを特徴とする表面検査用補助治具。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  G01B 21/00 ,  G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/68 M ,  H01L 21/68 P ,  G01B 21/00 L ,  G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 D

Fターム (42件)：

2F069AA60 ,  2F069BB15 ,  2F069CC07 ,  2F069DD30 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069MM03 ,  2F069MM23 ,  2F069RR05 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AB07 ,  2G051AC01 ,  2G051DA02 ,  2G051DA15 ,  2G051EA12 ,  4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106CA42 ,  4M106CA43 ,  4M106CA45 ,  4M106CA46 ,  4M106CB19 ,  4M106CB20 ,  4M106DB30 ,  5F031CA02 ,  5F031DA12 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031HA07 ,  5F031HA13 ,  5F031HA78 ,  5F031JA25 ,  5F031JA38 ,  5F031JA50 ,  5F031JA51 ,  5F031KA13 ,  5F031KA14 ,  5F031MA33 ,  5F031NA02 ,  5F031PA16

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 半導体装置とそのマーク形成装置,その欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-031417   出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (1件)

• 半導体装置とそのマーク形成装置,その欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-031417   出願人：株式会社日立製作所