特許
J-GLOBAL ID：200903096837052605
オゾン発生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂間 暁 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-247694
公開番号（公開出願番号）：特開平6-100301
出願日： 1992年09月17日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：
【要約】【目的】 グロー放電プラズマにより効率よく、オゾンを発生させるオゾン発生装置を得る。【構成】 原料ガスが通される反応容器31、同反応容器のガス流れ方向にほぼ直交して複数が配置され筒形誘電体32内に所定の空間をあけて設けられる電極33を持つ複合電極35、同複合電極につながれたグロー放電用電源4とを設ける。
請求項（抜粋）：
原料ガスが通される反応容器と、同反応容器のガス流れ方向にほぼ直交して複数が配置され筒形誘電体内に所定の空間をあけて設けられる電極を持つ複合電極と、同複合電極につながれたグロー放電用電源手段とを備えてなることを特徴とするオゾン発生装置。
IPC (3件)：
C01B 13/11
, B01D 53/34 116
, C02F 1/78
