プレーナ型電磁アクチュエータ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：笹島富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-128056
公開番号（公開出願番号）：特開平8-322227
出願日： 1995年05月26日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】互いに直交する2つの可動板を有する2軸構造のプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、静磁界発生手段の部品点数を削減し、電磁アクチュエータの構造の簡素化と製造コストの低減を図る。【構成】互いに直交する2つの可動板を有する2軸構造のプレーナ型電磁アクチュエータ1において、絶縁基板2中央部に設けたスキャナ本体10の対角線方向に、互いに対面して一対の永久磁石4,5(静磁界発生手段)を配置し、スキャナ本体10に静磁界を作用させる。

請求項（抜粋）：

半導体基板に、枠状の外側可動板と該外側可動板の内側に配置される内側可動板とからなる可動部と、前記外側可動板を揺動可能に軸支する第1トーションバーと該第1トーションバーと軸方向が直交し前記内側可動板を揺動可能に軸支する第2トーションバーとからなる軸支部とを一体に形成し、前記外側可動板と内側可動板の各周縁部に設けた駆動コイルと、該駆動コイルに静磁界を与える磁界発生手段とを備え、前記駆動コイルに電流を流すことにより発生する磁気力により前記可動部を駆動する構成の電磁アクチュエータにおいて、一対の前記静磁界発生手段を、前記可動部の1つの対角線方向に当該可動部を挟んで配置する構成としたことを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。

IPC (3件)：

H02K 33/18 , B06B 1/04 , G02B 26/10 104

FI (3件)：

H02K 33/18 A , B06B 1/04 Z , G02B 26/10 104

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