特許
J-GLOBAL ID：200903096840977628
薄膜ガスセンサ加熱用ヒーターの抵抗値調整方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山口 巖
, 駒田 喜英
, 松崎 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-370934
公開番号（公開出願番号）：特開2005-134250
出願日： 2003年10月30日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】薄膜ガスセンサの薄膜ヒーターの電気抵抗の調整を、センサ回路に新たな部品を組み込んだり、ヒートパターンをトリミングすることなく簡単,安価に行ない得るようにする。【解決手段】Si基板1の一側面がダイアフラム様にくりぬかれた基板上に、支持膜2を介して薄膜ヒーター3を形成し、絶縁膜4を介して感知膜電極6を形成した上に感知膜7を形成した薄膜ガスセンサの前記薄膜ヒーター3に対し、通常の使用時を越える電圧を印加して加熱することにより抵抗値を変化させる。この値が所望の値となるよう印加電圧を調整することで、簡単かつ安価に電気抵抗の調整ができるようにする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
Si基板の一側面がダイアフラム様にくりぬかれた基板面上に、支持膜を介して薄膜ヒーターを形成し、電気絶縁膜を介して感知膜電極を形成した上に感知膜を形成した薄膜ガスセンサの前記薄膜ヒーターに対し、通常使用時に印加される電圧を超える電圧を印加して薄膜ヒーターの温度を上昇させ、薄膜ヒーターの電気抵抗値の調整を行なうことを特徴とする薄膜ガスセンサの加熱用ヒーターの抵抗値調整方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G01N27/12 B
, G01N27/12 C
2G046AA11
, 2G046AA19
, 2G046AA21
, 2G046AA24
, 2G046BA01
, 2G046BA09
, 2G046BB02
, 2G046BB04
, 2G046BE03
, 2G046FE31
, 2G046FE38
, 2G046FE39
, 2G046FE46
