特許

J-GLOBAL ID：200903096849079843

感光性樹脂組成物

発明者： 田島 右副 ,  石井 忠浩 ,  武内 一夫
出願人/特許権者： 理化学研究所
代理人 (1件)： 塩澤 寿夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-243450
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090893
出願日： 1996年09月13日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 比較的少量のフラーレンを用い、かつ可視光領域の光での硬化が可能な感光性樹脂組成物の提供、及びこの感光性樹脂組成物を用いたネガ型画素の形成方法及びデバイスの製造方法の提供。【解決手段】 フラーレン及び可視光照射下でフラーレンと反応し得る官能基を有する高分子化合物を含有する感光性樹脂組成物。前記組成物からなる層を形成する工程、前記層に、その一部に可視光線を透過するパターンを有するフォトマスクを介して可視光を照射して、前記層中の可視光を照射した部分を硬化する工程、及び前記層の未硬化の部分を除去してパターンを有するレジスト膜を形成する工程を含むネガ型画素の形成ならびに、前記像形成層の露出部をエッチングする工程、及び前記レジスト膜を除去する工程を含むデバイスの製造方法。

請求項（抜粋）：

フラーレン及び可視光照射下でフラーレンと反応し得る官能基を有する高分子化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/038 ,  C08L101/02 ,  C09D 5/00 ,  C09D133/06 ,  G03F 7/004 503 ,  H05K 3/28

FI (6件)：

G03F 7/038 ,  C08L101/02 ,  C09D 5/00 C ,  C09D133/06 ,  G03F 7/004 503 Z ,  H05K 3/28 D