特許
J-GLOBAL ID：200903096852238944
干渉縞による測定方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-147477
公開番号（公開出願番号）：特開平8-014852
出願日： 1994年06月29日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】 波長が微かに異なる2系の光を用い、各々による被検面の形状あるいは被検体の屈折率分布に応じた干渉縞を形成し、これら2つの干渉縞の位置関係に基づき被検面の表面形状あるいは被検体の屈折率分布を判別することにより、この判別を高精度かつ簡易に行なう。【構成】 He-Neレーザ光源12からの主測定光11(波長632.8 nm)と半導体レーザ光源14からの判定光13(波長690 nm)により被検面22a の表面形状を表わす2つの干渉縞をCCD素子24上に結像せしめ、画像表示部26に表示された2つの干渉縞の位置関係に基づき被検面22a の凹凸形状やその傾斜方向を判別する。
請求項（抜粋）：
光干渉により生じる干渉縞を観察して被検体の表面形状を測定する方法において、第1の波長を有する主測定光を用いて前記被検体による第1の干渉縞を形成するとともに、この第1の波長とは微かに異なる第2の波長を有する判定光を用いて前記被検体による第2の干渉縞を形成し、前記第1の干渉縞と前記第2の干渉縞の相対位置関係に基づき前記被検体表面の凹凸形状もしくは傾斜方向を測定することを特徴とする干渉縞による測定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 9/02
, G06T 7/00
