平板型光弁駆動用半導体装置

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出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：林敬之助 (外1名) , 林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-024343
公開番号（公開出願番号）：特開平9-102610
出願日： 1990年10月16日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：

【要約】【目的】ガラス基板などの透明基板を用いた平板型光弁駆動用半導体装置、特に投影型表示装置に好適な表示装置の改良に関する。【構成】透明基板上に、遮光性薄膜、絶縁膜、単結晶薄膜に形成されたスイッチング素子を順次設けるとともに、遮光性薄膜のない部分に前記スイッチング素子により駆動される透明電極を設け、これをアレイ状に配置して平板型光弁駆動用半導体を構成する。

請求項（抜粋）：

透明支持基板と、前記透明支持基板の上に配置された遮光性薄膜と、前記遮光性薄膜の上に絶縁膜を介して配置された半導体薄膜とを含む積層構造を有する複合基板と、前記複合基板の上の少なくとも前記遮光性薄膜をとり除いた部分上に配置された光弁駆動用透明電極と、前記半導体薄膜に形成されたチャネル領域及び前記チャネル領域の導通を制御する為の主ゲート電極を有するトランジスタからなり、前記透明電極を選択的に励起する為のスイッチング素子と、前記遮光性薄膜から構成されており前記チャネル領域に対して前記主ゲート電極の反対側に配置された遮光層とからなる半導体装置において、前記スイッチング素子はアレイ状に複数配置され、前記各スイッチング素子のチャネル領域は、結晶方位のバラツキが0.0±1.0°以内の一様性を有する単結晶半導体薄膜からなることを特徴とする平板型光弁駆動用半導体装置。

IPC (2件)：

H01L 29/786 , G02F 1/136 500

FI (4件)：

H01L 29/78 620 , G02F 1/136 500 , H01L 29/78 612 B , H01L 29/78 619 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭58-088783
特開昭61-079256
特開平4-133033

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