特許
J-GLOBAL ID：200903096862632730
赤外線吸収方式のガス濃度計測方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
伊藤 求馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-131077
公開番号（公開出願番号）：特開平11-304705
出願日： 1998年04月23日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 赤外線吸収方式のガス濃度計測方法において、セル内に照射された赤外線の吸収やノイズ輻射が変化しても精度よくガス濃度を計測する。【解決手段】 セル1A,1Bの温度条件を変化させ、各温度条件において、導入する基準ガスの切り替え、セル1A,1B内への赤外線の照射と停止の切り替え、光透過窓13を備えたセル1Aと光透過窓13を備えないセル1Bの切り替えを行って、そのときの検出器32の検出出力からセル1A,1B内に照射された赤外線の吸収とノイズ輻射を定量し、サンプルガスをセル1Aに導入したときの温度条件と一致する赤外線の吸収とノイズ輻射に基づいて、サンプルガスについての検出出力を補正し、温度変化の影響を受けずにサンプルガス中の測定対象ガス濃度が得られるようにする。
請求項（抜粋）：
セル内に、被評価ガスと、測定対象ガス濃度が既知の基準ガスとを選択的に導入し、光源からセル内に赤外線を照射してセル内のガス中を透過せしめ、セルの光透過窓から出射した透過赤外線の強度を検出器で検出して被評価ガス中の測定対象ガスの濃度を計測する赤外線吸収方式のガス濃度計測方法において、セル内温度とセル内壁面温度と光透過窓温度とよりなる温度条件を変更し、各温度条件において、上記セル内への赤外線の照射と停止の切り替え、測定対象ガスを一定濃度含む第1の基準ガスと測定対象ガスを含まない第2の基準ガスとの基準ガスの切り替え、および光透過窓の有りと無しの切り替えを行って検出器の検出出力を得て、セル内に照射された赤外線の、測定対象ガスにおける吸収と光透過窓における吸収と、測定対象ガスからおよび光透過窓からのノイズ輻射の温度特性を定量し、被評価ガス計測時の温度条件に応じて測定対象ガスの計測濃度を補正することを特徴とする赤外線吸収方式のガス濃度計測方法。
IPC (4件)：
G01N 21/61
, G01J 3/42
, G01N 21/27
, G01N 21/59
G01N 21/61
, G01J 3/42 U
, G01N 21/27 F
, G01N 21/59 Z
