特許

J-GLOBAL ID：200903096863574865

プロセスキットパーツ及びその使用法

発明者： クロッカー スティーヴン シー
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-571453
公開番号（公開出願番号）：特表2003-529219
出願日： 2001年03月27日
公開日（公表日）： 2003年09月30日
要約：

【要約】視認マークを備えた、リサイクル可能なプロセスキットパーツが提供されている。パーツは、堆積した材料を取り除く洗浄処理を受けた後、マークの視認性に基づいて、許容差内にあるか否か判定される。具体的には、リサイクル可能なプロセスキットパーツは1つの材料で作られ、第1高度を有する第1表面を有している。視認マークは、第1表面に形成され、第2高度まで延びており、第1高度と第2高度の間の距離は、パーツからある量の材料が取り去られパーツがほぼ許容差外となるまで、視認できるような寸法になっている。

請求項（抜粋）：

1つの材料で作られているリサイクル可能なプロセスキットパーツであって、 第1高度を有する第1表面と、 前記第1表面に形成され、第2高度まで延びる視認マークであって、前記第1高度と前記第2高度との間の距離は、前記パーツからある量の材料が取り去られ前記パーツがほぼ許容差外となるまで、前記マークが視認できるような寸法になっている視認マークと、を有するリサイクル可能なプロセスキットパーツを備えていることを特徴とする装置。

IPC (5件)：

H01L 21/31 ,  C23C 14/00 ,  C23C 14/50 ,  C23C 16/44 ,  C23C 16/458

FI (5件)：

H01L 21/31 F ,  C23C 14/00 B ,  C23C 14/50 F ,  C23C 16/44 J ,  C23C 16/458

Fターム (12件)：

4K029DA03 ,  4K029DA10 ,  4K029FA09 ,  4K030DA06 ,  4K030GA01 ,  4K030HA17 ,  4K030KA43 ,  5F045AA08 ,  5F045AB32 ,  5F045BB15 ,  5F045DP03 ,  5F045EB06