特許

J-GLOBAL ID：200903096887768245

露光装置

発明者： 三 宮 勝 也 ,  井 田 良 一
出願人/特許権者： 株式会社アドテックエンジニアリング
代理人 (1件)： 高橋 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-254649
公開番号（公開出願番号）：特開2000-075497
出願日： 1998年08月26日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】 連続的な露光が可能な露光装置を提供する。【解決手段】 円筒状フォトマスク1を回転させ、これに同期してワークWを搬送し、円筒状フォトマスク1内部に設けられた露光光源2により露光位置Eにおいて露光を行う。フィルムマスク10のパターンピッチを予め測定しておき、該パターンピッチに応じて円筒体11の回転制御を行う。

請求項（抜粋）：

円筒状のフォトマスクと、露光対象物を所定方向に搬送する手段と、前記円筒状のフォトマスクを該露光対象物の搬送と同期させて回転させる手段と、前記フォトマスクのパターンピッチに対応して、前記フォトマスクの回転と露光対象物の搬送の中の1又は両方を制御する制御手段と、前記円筒状のフォトマスクを透過して前記露光対象物に光を照射する光源と、を備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/24 ,  H05K 3/00

FI (2件)：

G03F 7/24 G ,  H05K 3/00 H

Fターム (6件)：

2H097AB03 ,  2H097AB09 ,  2H097CA05 ,  2H097GA43 ,  2H097JA02 ,  2H097LA09