特許

J-GLOBAL ID：200903096893527403

基板チャック装置

発明者： 森 順一 ,  松山 勝章
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 飯塚 義仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-042823
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243816
出願日： 1999年02月22日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】 チャックに設けられた突き上げピン用の貫通穴によって生じる基板とチャックとの間の非接触部分を極力少なくする。【解決手段】 チャック手段は、基板を吸着保持する。突き上げピン手段はチャック手段の貫通穴を自在に移動して基板を上下方向に移動させるように設けられた複数のピンで構成され、基板がチャック手段に吸着保持されている状態で複数のピンに貫通穴から基板に向かうような所定の応力を与えて、複数のピンのそれぞれが基板の下面に接触するように構成される。突き上げピンに所定の応力を与える手段としては、圧縮バネを用いて突き上げピンを持ち上げる。ピン駆動手段はこの突き上げピン手段の各ピンを上下方向に移動させる。また、突き上げピン手段の複数のピンが、貫通穴の形状に沿った形状をした部分を有し、この部分がチャック手段に吸着保持された基板に対して密着するように構成される。

請求項（抜粋）：

基板を吸着保持するチャック手段と、前記チャック手段の貫通穴を自在に移動して前記基板を上下方向に移動させるように設けられた複数のピンで構成され、前記基板が前記チャック手段に吸着保持されている状態で前記複数のピンに前記貫通穴から前記基板に向かうような所定の応力を与えて、前記複数のピンのそれぞれが前記基板の下面に接触するように構成された突き上げピン手段と、この突き上げピン手段の各ピンを上下方向に移動させるピン駆動手段とを含んで構成されたことを特徴とする基板チャック装置。

Fターム (5件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA12 ,  5F031HA13 ,  5F031HA33