特許
J-GLOBAL ID：200903096894422680
金属酸化物薄膜の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-345322
公開番号（公開出願番号）：特開平9-157855
出願日： 1995年12月06日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：
【要約】【課題】 ゾル-ゲル法により金属酸化物薄膜を形成する場合に、金属酸化物を結晶化するのに高温での熱処理を不要とし、耐熱性の低い基板上にも金属酸化物薄膜を形成することを可能にする。【解決手段】 金属酸化物ゲルの薄膜を形成した後、その薄膜に対し波長が360nm以下である紫外光を照射して金属酸化物を結晶化する。
請求項（抜粋）：
金属アルコキシド又は金属塩を主原料として得られる金属酸化物ゾルを被塗布物の表面に塗布して、被塗布物表面に金属酸化物ゲルの薄膜を形成した後、その薄膜に対して波長が360nm以下である紫外光を照射し、薄膜を形成している金属酸化物を結晶化することを特徴とする金属酸化物薄膜の形成方法。
IPC (6件)：
C23C 18/14
, B01J 19/08
, C01G 1/02
, C01G 15/00
, C01G 19/02
, C23C 24/00
C23C 18/14
, B01J 19/08 F
, C01G 1/02
, C01G 15/00 B
, C01G 19/02 C
, C23C 24/00
