特許
J-GLOBAL ID：200903096894683964
ペリクル
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
中川 周吉
, 中川 裕幸
, 飛田 高介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-281062
公開番号（公開出願番号）：特開2005-128512
出願日： 2004年09月28日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：
【課題】 本発明は、枠体に貼張される面積が1,000cm2以上の大型ペリクル膜をフォトマスクに貼り付ける際に、前記大型ペリクル膜のシワの発生を防止すると共にペリクル膜の有効露光領域の減少を抑制するペリクルを提供することを可能にすることを目的としている。【解決手段】 枠体1に貼着される大型ペリクル膜2をフォトマスクに貼り付ける際に大型ペリクル膜2のシワの発生を防止するために面積が1,000cm2以上のペリクル膜2及び該ペリクル膜2を展張して貼着支持するための一対の長辺1aと一対の短辺1bを有する枠体1からなる大型ペリクルにおいては、枠体1がその少なくとも一対の長辺1aを枠体1の外側に向かって突出するように形成されたものであり、且つペリクル膜2を枠体1に展張することにより枠体1の長辺1a端部よりも内側に窪んでいることを特徴とする。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
ペリクル膜(2)の厚さ方向に見て面積が1,000cm2以上のペリクル膜(2)と、その上にペリクル膜(2)が引張応力を伴って張られた枠(1)と、を有するペリクルであって、
前記枠(1)は、前記ペリクル膜(2)の厚さ方向に見て、一つの方向において互いに向き合う相対的に短い二つの外周縁辺の対と、前記ペリクル膜(2)の厚さ方向に見て、前記一つの方向に直角なもう一つの方向において、互いに向き合う相対的に長い二つの外周縁辺の対と、を有し、
前記ペリクル膜(2)を前記枠(1)上に張る前には、前記枠(1)を湾曲して、前記ペリクル膜(2)の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して、湾曲した前記枠(1)の半径方向における内側を通過した相対的に長い二つの外周縁辺の少なくとも一方は、前記ペリクル膜(2)を前記枠(1)上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜(2)の厚さ方向に見て前記第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した前記枠(1)の半径方向における外側を通過するよう変形されることを特徴とするペリクル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F1/14 K
, H01L21/30 502P
出願人引用 (1件)
-
大型ペリクル用枠体
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-216069
出願人：旭化成電子株式会社
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
