感光性樹脂組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-288362
公開番号（公開出願番号）：特開平9-127697
出願日： 1995年11月07日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】アルカリ水溶液で現像可能なコントラストの高い感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。【解決手段】ポリアミド酸と光の照射によってスルホン酸を発生するスルホン酸発生剤を必須成分とし、ポリアミド酸(イ)、ポリアミド酸を全もしくは部分エステル化した重合体(ロ),(イ),(ロ)の混合系の中から選ばれた少なくとも1種の重合体中ポリアミック酸と光の照射によってスルホン酸を発生するスルホン酸発生剤を成分とする、感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

一般式(1)で表わされる分子量10000〜1000000のポリアミド酸(イ)【化1】[nは10〜200000の整数で、R1は炭素数1以上の有機基,水素原子,ハロゲン原子のいずれかであり、式中R2は炭素数2以上の有機基,R3は炭素数4以上の有機基である。]、一般式(1)で表わされる分子量10000〜1000000のポリアミド酸を全てもしくは部分エステル化した重合体(ロ),(イ)と(ロ)混合系の中から選ばれた少なくとも1種の重合体において、該重合体100重量部に対して0.1 重量部〜40重量部の一般式(2)もしくは(3)【化2】【化3】[式中X1,X2,X3は炭素数1以上の有機基,水素原子,水酸基,ハロゲン原子の中から選ばれる原子または原子団を表わし、X1,X2,X3は同一であってもよく、異なってもよい。Aは炭素数1以上の有機基,スルホニル基,イオウ原子,酸素原子の中から選ばれる原子または原子団を表わす。]で表わされるフェノール化合物,ミヒラーケトン,一般式(4)【化4】[式中Y1,Y2,Y3は炭素数1以上の有機基,水素原子,水酸基,ハロゲン原子の中から選ばれる原子または原子団を表わし、Y1,Y2,Y3は同一であってもよく、異なってもよい。]で表わされるアントラセン誘導体、一般式(5)【化5】[式中R4は炭素数が6以上の有機基,Z1,Z2は炭素数1以上の有機基,水素原子,水酸基,ハロゲン原子の中から選ばれる原子または原子団を表わす。]で表わされる化合物の中の少なくとも1種を用いた増感剤(ニ)の存在下で電磁波の照射によりスルホン酸を発生するアルキルスルホン酸エステル,アリールスルホン酸エステル,イミノスルホン酸エステル,ニトロベンジルスルホン酸エステル、α-ヒドロキシメチルベンゾインスルホン酸エステル、α-スルホニルオキシケトン,ジスルホニルジアゾメタンの中の少なくとも1種である光酸発生剤(ハ)を上記重合体100重量部に対して5重量部〜40重量部含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/039 , C08K 5/02 , C08K 5/07 , C08K 5/13 , C08K 5/42 , C08K 5/46 , C08L 79/08 LRB , G03F 7/004 503

FI (8件)：

G03F 7/039 , C08K 5/02 , C08K 5/07 , C08K 5/13 , C08K 5/42 , C08K 5/46 , C08L 79/08 LRB , G03F 7/004 503

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