特許

J-GLOBAL ID：200903096915758072

フロンガスセンサおよびその製造方法

発明者： 柳谷 順子
出願人/特許権者： エフアイエス株式会社
代理人 (1件)： 西川 惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-285388
公開番号（公開出願番号）：特開2000-111507
出願日： 1998年10月07日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】フロンガスに対する感度が高く信頼性の高いフロンガスセンサを提供する。【解決手段】センシング素子Aは、楕円球状に形成された感応部6に貴金属線の電極コイルからなるヒータ25が埋設されるとともに、ヒータ25の内部に貴金属線からなる芯線20が設けられている。ここに、ヒータ25はリード線201,203間に設けられ、芯線20はリード線202により形成されている。また、リード線202と、リード線201,203のいずれか一方とで電気抵抗測定用の電極を構成し、リード線201とリード線203とがヒータ加熱用の電極を構成している。感応部6は、SnO2を主成分としγ-アルミナを添加してある。

請求項（抜粋）：

金属酸化物半導体よりなる感応部に電気抵抗測定用の一対の電極を設けたフロンガスセンサであって、感応部は、酸化錫を主成分としγ-アルミナ、無定形アルミナのうちの少なくとも1種が添加されてなることを特徴とするフロンガスセンサ。

FI (2件)：

G01N 27/12 C ,  G01N 27/12 M

Fターム (18件)：

2G046AA18 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB03 ,  2G046BC04 ,  2G046BE02 ,  2G046BE03 ,  2G046BE07 ,  2G046BF05 ,  2G046BH04 ,  2G046EA04 ,  2G046EA18 ,  2G046FB02 ,  2G046FC01 ,  2G046FC02 ,  2G046FE03 ,  2G046FE39

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭56-147051
  
• 特開昭56-147051
  
• 特開昭56-088097
  
• 特開昭56-088097