特許
J-GLOBAL ID：200903096919137897
プラズマ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-101851
公開番号（公開出願番号）：特開平8-339896
出願日： 1996年04月01日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：
【要約】【課題】 プラズマ室に印加される無線周波パワーの電流と電圧を検知し、先行技術の欠点の発生を防止する信頼できしかも安価なプローブの提供にある。【解決手段】 プラズマ無線周波電圧と電流の検知用偽信号サンプル採取装置プローブは採取信号を、前記無線周波基本周波数以下の振幅のいくつかの位数である偽信号周波数で偽信号波形の発生を選ばせる無線周波は基本周波数より緩慢な採取速度で用いる。
請求項（抜粋）：
無線周波整合ネットワークを通してプラズマ室のパワー入力に供給される無線周波ヘルツ波を無線周波発電装置が発生させ、該ヘルツ波がプラズマを前記プラズマ室に発生させ、また検知手段が前記無線周波ヘルツ波を前記プラズマ室への入力でサンプル採取して前記プラズマ室に印加された前記パワーの容量を中で測定するプラズマ装置において、前記検知手段が前記無線周波波長の振幅を所定の周波数より緩慢な所定のサンプル採集速度で採取するサンプル採取手段と、合成回路との組合せで前記サンプル採取した振幅を合せて前記所定の周波数より著しく低い所定の偽信号周波数で偽信号波形を発生させることを特徴とするプラズマ装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, C23F 4/00
, H01L 21/3065
H05H 1/46 A
, C23F 4/00 A
, H01L 21/302 B
