特許

J-GLOBAL ID：200903096929439905

紫外光用合成石英ガラス光学体の改質方法及び紫外光用合成石英ガラス光学体

発明者： 藤原 誠志 ,  神保 宏樹 ,  小峯 典男 ,  平岩 弘之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-211977
公開番号（公開出願番号）：特開平7-061828
出願日： 1993年08月26日
公開日（公表日）： 1995年03月07日
要約：

【要約】【目的】脈理・歪等がなく、光学的に均質で高透過率性を有する紫外光用石英ガラス光学体およびその改質方法を提供する。【構成】加熱,加圧等により熱処理を行う際の雰囲気中(ガス種によらない)の酸素分圧の絶対値を、酸素分圧の対数(log po2)で-4以上-0.5以下と規定した。

請求項（抜粋）：

歪,脈理がなく、屈折率の均質性が2x10-6以下である高純度合成石英ガラスを、 500°C以上の温度及び5kgG以下の圧力下において所定時間熱処理することにより 170nm 〜 200nmの真空紫外領域の吸収を消去し、該吸収以外の光学的性質を維持することを特徴とする紫外光用合成石英ガラス光学体の改質方法。