特許

J-GLOBAL ID：200903096935731073

シリコンウエハプラズマ処理用ガラス状カーボン部材の製造方法

発明者： 市島 雅彦 ,  笠原 雅寿 ,  外谷 栄一 ,  佐々木 泰実 ,  伊藤 和男 ,  目黒 和教
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-038587
公開番号（公開出願番号）：特開平9-188566
出願日： 1990年04月02日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】 プラズマの安定性がよく、耐用性にすぐれたシリコンウエハプラズマ処理用ガラス状カーボン部材の製造方法を提供する。【解決手段】 熱硬化性樹脂に有機スルホン酸を少量づつ添加して重合させる工程を繰り返すことで、前記有機スルホン酸を混合して1000〜4000センチポイズの粘性を有する流動体ポリマーを形成し、脱泡処理後、所望形状に成形し、硬化後、焼成、純化処理を順次行うことを特徴とするシリコンウエハプラズマ処理用ガラス状カーボン部材の製造方法。

請求項（抜粋）：

液状熱硬化性樹脂に有機スルホン酸を少量づつ添加して重合させる工程を繰り返すことで、前記有機スルホン酸を混合して1000〜4000センチポイズの粘性を有する流動体ポリマーを形成し、脱泡処理後、所望形状に成形し、硬化後、焼成、純化処理を順次行うことを特徴とするシリコンウエハプラズマ処理用ガラス状カーボン部材の製造方法。

IPC (3件)：

C04B 35/52 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

C04B 35/52 A ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/302 C