特許
J-GLOBAL ID：200903096951036296
ダイシング装置及びダイシング装置における切削制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 朗 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-320368
公開番号（公開出願番号）：特開平6-169013
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】 本発明はダイシング装置に関し、確実に良好な溝加工が行え、しかも加工速度が向上したダイシング装置及びダイシング装置における切削制御方法の実現を目的とする。【構成】 砥石刃1を高速回転させるスピンドルモータ2と、砥石刃1に対して被加工物100を移動する移動機構3と、スピンドルモータ2の回転及び移動機構3の送りを制御する制御部6とを備えるダイシング装置において、スピンドルモータ2の電力値を検出する負荷検出手段5を備え、制御部6は検出した電力値に基づいて移動機構3の送り速度及びスピンドルモータ2の回転速度の少なくとも一方を変化させるように構成する。
請求項（抜粋）：
取り付けられた砥石刃(1)を高速回転させるスピンドルモータ(2)と、被加工物(100)を載置するステージを有し、前記砥石刃(1)に対して前記被加工物(100)を移動する移動機構(3)と、前記スピンドルモータ(2)の回転及び前記移動機構(3)の送りを制御する制御部(6)とを備え、前記被加工物(100)に薄溝加工を行うダイシング装置において、前記スピンドルモータ(2)の電力値を検出する負荷検出手段(5)を備え、前記制御部(6)は検出した電力値に基づいて前記移動機構(3)の送り速度及び前記スピンドルモータ(2)の回転速度の少なくとも一方を変化させることを特徴とするダイシング装置。
IPC (3件)：
H01L 21/78
, B28D 5/00
, G05F 1/247
