特許
J-GLOBAL ID：200903096951364498
基板移載用ハンド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-103426
公開番号（公開出願番号）：特開平8-298279
出願日： 1995年04月27日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：
【要約】【構成】基板移載用ハンド3の断面形状を、基板置き台2で基板1の下面の両脇を支持した状態における基板1の反りと同一方向の円弧様とした。また基板移載用ハンド3で支持したときの基板1の反りが、基板置き台2で支持したときの基板1の反りと同一になるようにした。また基板移載用ハンドを薄板部材を組み合わせたリブ構造体もしくは中空体とした。【効果】ハンド剛性が高く、基板受け取り時のハンド移動量が少なく、固有振動数の高い基板移載用ハンドとすることができ、基板置き台における基板支持間隔を小さくでき、かつ移載時間が短い基板移載用ハンドを得る。
請求項（抜粋）：
基板をその下面で支持して移載する基板移載用ハンドにおいて、上記基板の支持部の断面を円弧様断面としたことを特徴とする基板移載用ハンド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 E
