特許

J-GLOBAL ID：200903096957797469

ウェーハの研磨方法及びウェーハ研磨用研磨パッド

発明者： 桝村 寿 ,  冨井 和弥 ,  伊藤 栄直 ,  安在 健一 ,  井上 憲一
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社 ,  ロデール・ニッタ株式会社
代理人 (1件)： 石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-333233
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142437
出願日： 2001年10月30日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：

【要約】【課題】ウェーハの外周ダレを効果的に防止するウェーハの研磨方法及びそのウェーハの研磨方法に好適に用いられるウェーハ研磨用研磨パッドを提供する。【解決手段】不織布に樹脂を含浸させた研磨パッドにウェーハ主面を摺接させて、鏡面研磨するウェーハの研磨方法において、前記研磨パッドの表面粗さと圧縮率の比{表面粗さRa(μm)/圧縮率(%)}を3.8以上にし研磨するようにした。

請求項（抜粋）：

不織布に樹脂を含浸させた研磨パッドにウェーハ主面を摺接させて、鏡面研磨するウェーハの研磨方法において、前記研磨パッドの表面粗さと圧縮率の比{表面粗さRa(μm)/圧縮率(%)}を3.8以上にし研磨することを特徴とするウェーハの研磨方法。

IPC (2件)：

H01L 21/304 622 ,  B24B 37/00

FI (2件)：

H01L 21/304 622 F ,  B24B 37/00 C

Fターム (5件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CA01 ,  3C058CB01 ,  3C058CB10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 熱可塑性エラストマー微孔質発泡体、その製造方法および研磨シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-320445   出願人：東洋ゴム工業株式会社