特許

J-GLOBAL ID：200903096958910390

黒鉛るつぼ

発明者： 湯本 芳明
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-047392
公開番号（公開出願番号）：特開2000-247781
出願日： 1999年02月25日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：

【要約】【課題】 内側に配置される石英るつぼを繰り返して使用することができないという問題があった。【解決手段】 円筒状部と底部から成る黒鉛るつぼにおいて、前記円筒状部が縦方向に複数に分割された部材から成り、且つ原料が溶解したときに前記円筒状部の外径がその内径と略等しくなる炭素繊維強化炭素材から成るリングを前記円筒状部の上部と下部に装着した。

請求項（抜粋）：

円筒状部と底部から成る黒鉛るつぼにおいて、前記円筒状部が縦方向に複数に分割された部材から成り、且つ原料が溶解したときに前記円筒状部の外径がその内径と略等しくなる炭素繊維強化炭素材から成るリングを前記円筒状部の上部と下部に装着したことを特徴とする黒鉛るつぼ。

IPC (2件)：

C30B 15/10 ,  H01L 21/208

FI (2件)：

C30B 15/10 ,  H01L 21/208 T

Fターム (13件)：

4G077BA04 ,  4G077EG01 ,  4G077PD02 ,  5F053AA12 ,  5F053BB04 ,  5F053BB13 ,  5F053BB14 ,  5F053BB15 ,  5F053DD01 ,  5F053FF04 ,  5F053GG01 ,  5F053RR07 ,  5F053RR13