特許

J-GLOBAL ID：200903096959597157

半導体基板およびその作製方法および半導体発光素子

発明者： 岩田 浩和
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 植本 雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-172495
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007394
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 工業的に実用化できる大面積,高品質のGaN系の半導体基板およびその作製方法および半導体発光素子を提供する。【解決手段】 第1の基板50にInrAlsGa(1-r-s)N(0≦r≦1,0≦s≦1,r+s≦1)単結晶薄膜52を形成し、InrAlsGa(1-r-s)N単結晶薄膜52をInxAlyGa(1-x-y)N(0≦x≦1,0≦y≦1,x+y≦1)単結晶と熱膨張係数がほぼ同等である第2の基板53に貼り付け、第1の基板50からInrAlsGa(1-r-s)N単結晶薄膜52を分離し、第2の基板53に貼り付けられたInrAlsGa(1-r-s)N単結晶薄膜52上に、InxAlyGa(1-x-y)N(0≦x≦1,0≦y≦1,x+y≦1)単結晶54をエピタキシャル成長し、第2の基板53からInxAlyGa(1-x-y)N単結晶54を分離する。

請求項（抜粋）：

第1の基板にInrAlsGa(1-r-s)N(0≦r≦1,0≦s≦1,r+s≦1)単結晶薄膜を形成する工程と、InrAlsGa(1-r-s)N(0≦r≦1,0≦s≦1,r+s≦1)単結晶薄膜をInxAlyGa(1-x-y)N(0≦x≦1,0≦y≦1,x+y≦1)単結晶と熱膨張係数がほぼ同等である第2の基板に貼り付ける工程と、第1の基板からInrAlsGa(1-r-s)N(0≦r≦1,0≦s≦1,r+s≦1)単結晶薄膜を分離する工程と、第2の基板に貼り付けられたInrAlsGa(1-r-s)N(0≦r≦1,0≦s≦1,r+s≦1)単結晶薄膜上に、InxAlyGa(1-x-y)N(0≦x≦1,0≦y≦1,x+y≦1)単結晶をエピタキシャル成長する工程と、第2の基板からInxAlyGa(1-x-y)N(0≦x≦1,0≦y≦1,x+y≦1)単結晶を分離する工程とにより、InxAlyGa(1-x-y)N(0≦x≦1,0≦y≦1,x+y≦1)単結晶を半導体基板として作製することを特徴とする半導体基板の作製方法。

IPC (6件)：

H01L 33/00 ,  C30B 29/38 ,  C30B 33/00 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01S 5/343

FI (6件)：

H01L 33/00 C ,  C30B 29/38 D ,  C30B 33/00 ,  H01L 21/203 M ,  H01L 21/205 ,  H01S 5/343

Fターム (90件)：

4G077AA03 ,  4G077BE11 ,  4G077BE15 ,  4G077DB08 ,  4G077ED06 ,  4G077FJ03 ,  4G077FJ06 ,  4G077HA02 ,  4G077HA12 ,  4G077TA04 ,  5F041AA40 ,  5F041CA02 ,  5F041CA03 ,  5F041CA04 ,  5F041CA05 ,  5F041CA14 ,  5F041CA23 ,  5F041CA34 ,  5F041CA40 ,  5F041CA65 ,  5F041CA74 ,  5F041CA82 ,  5F041CA92 ,  5F041FF16 ,  5F045AA02 ,  5F045AA04 ,  5F045AB09 ,  5F045AB14 ,  5F045AB17 ,  5F045AB31 ,  5F045AB32 ,  5F045AC07 ,  5F045AC12 ,  5F045AC15 ,  5F045AC19 ,  5F045AD14 ,  5F045AE29 ,  5F045AF01 ,  5F045AF04 ,  5F045AF07 ,  5F045AF09 ,  5F045CA09 ,  5F045CA10 ,  5F045CA11 ,  5F045CA12 ,  5F045CB01 ,  5F045CB02 ,  5F045DA51 ,  5F045DA52 ,  5F045DA53 ,  5F045DA54 ,  5F045DA55 ,  5F045DA57 ,  5F045DA62 ,  5F045DA63 ,  5F045DA64 ,  5F045DB01 ,  5F045GH08 ,  5F045GH09 ,  5F045HA11 ,  5F045HA12 ,  5F045HA14 ,  5F045HA16 ,  5F073AA13 ,  5F073AA74 ,  5F073CA07 ,  5F073CB02 ,  5F073CB04 ,  5F073CB05 ,  5F073CB07 ,  5F073DA05 ,  5F073EA29 ,  5F103AA04 ,  5F103DD01 ,  5F103GG01 ,  5F103HH03 ,  5F103HH04 ,  5F103JJ01 ,  5F103JJ03 ,  5F103KK01 ,  5F103LL01 ,  5F103LL02 ,  5F103LL03 ,  5F103LL16 ,  5F103LL17 ,  5F103LL18 ,  5F103PP03 ,  5F103PP07 ,  5F103RR08 ,  5F103RR10