特許

J-GLOBAL ID：200903096971474265

部品の保持装置

発明者： 井上 良介
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-241513
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066388
出願日： 1999年08月27日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、部品を半永久的に且つ精密部品に発生する歪を極力抑えた保持方法を提供する事を目的とする。【解決手段】 本発明では、部品1を支持体5の下側で保持する保持装置において、部品1の一部に取り付けられた磁性部材2と、支持体5の所定の位置に設けられた永久磁石3からなる座と、座に取り付けられたコイル4と、コイルに所定の方向の電圧を印加する電源6とを備えた。

請求項（抜粋）：

部品を支持体の下側で保持する保持装置において、前記部品の一部に取り付けられた磁性部材と、前記支持体の所定の位置に設けられた永久磁石からなる座と、前記座に取り付けられたコイルと、前記コイルに所定の方向の電圧を印加する電源とを備えたことを特徴とする部品の保持装置。

IPC (2件)：

G12B 5/00 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G12B 5/00 T ,  G01B 11/00 Z

Fターム (23件)：

2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065DD03 ,  2F065FF55 ,  2F065GG01 ,  2F065GG12 ,  2F065HH03 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065LL12 ,  2F065LL19 ,  2F065LL46 ,  2F065MM02 ,  2F065PP04 ,  2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB05 ,  2F078CB09 ,  2F078CB10 ,  2F078CB11 ,  2F078CB13 ,  2F078CC18