特許

J-GLOBAL ID：200903096976739585

圧電体素子及びこれを用いた圧電アクチュエータ並びにこれを備えたインクジェットプリントヘッド

発明者： 山田 健二 ,  川澄 勝則 ,  町田 治 ,  山田 剛裕 ,  木田 仁司
出願人/特許権者： 日立工機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-067108
公開番号（公開出願番号）：特開2000-261059
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 圧電体素子の耐電圧特性を向上し、信頼性の高い圧電体素子及び圧電アクチュエータ及びインクジェットプリントヘッドを提供する。【解決手段】 下部電極と上部電極との間に形成された圧電体膜からなる圧電体素子で、上部電極をある粒子径範囲の導電性物質を含む導体ペーストで形成した。

請求項（抜粋）：

下部電極と、前記下部電極上に形成された圧電体膜と、前記圧電体膜上に形成された上部電極とを備えた圧電体素子であって、前記上部電極が粒子径が1μm以上10μm以下の導電性物質を含有する導体ペーストで形成されていることを特徴とする圧電体素子。

IPC (5件)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/187

FI (4件)：

H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/18 101 D

Fターム (13件)：

2C057AF66 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AG55 ,  2C057AG90 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP38 ,  2C057AP51 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14