特許

J-GLOBAL ID：200903096986708831

クリーンルーム用の不活性ガスボンベ搭載無人搬送装置のガス自動充填ステーション

発明者： 山下 哲平 ,  村田 正直 ,  田中 幹 ,  森田 日也 ,  河野 等 ,  奥野 敦 ,  津田 正徳 ,  林 満弘
出願人/特許権者： 神鋼電機株式会社
代理人 (1件)： 小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-071559
公開番号（公開出願番号）：特開平5-272696
出願日： 1992年03月27日
公開日（公表日）： 1993年10月19日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 不活性ガスボンベの交換を不要にする。【構成】 給ガスカプラーを有する可動カプラーユニット102と、同ユニットをステーションに停止した無人搬送車の固定カプラーユニット70に対して進退させる進退駆動機構120と、給ガスカプラーを不活性ガス主タンク50に連絡する弁を備えた充填用給ガス配管と、無人搬送車30の車側通信装置115Nと交信可能な地上側通信装置115Pと、固定カプラーユニットに設けられた検知端子と電気的接触可能に可動カプラーユニットに設けられた検知端子を備えるカプラー結合検知回路と、ガス充填制御装置114とを備え、無人搬送車は、搬送物を容器に収納して搬送し、容器が、内部雰囲気置換可能に給ガス路を介して搭載している不活性ガスボンベと接続された搬送車であって、固定カプラーユニットは弁を備えた充填用給ガス配管を通して上記不活性ガスボンベに連絡される。

請求項（抜粋）：

給ガスカプラーを有する可動カプラーユニットと、この可動カプラーユニットをステーションに停止した無人搬送車の受ガスカプラーを有する固定カプラーユニットに対して進退させる進退駆動機構と、上記給ガスカプラーを不活性ガス主タンクに連絡する弁を備えた充填用給ガス配管と、上記無人搬送車の車側通信装置と交信可能な地上側通信装置と、上記固定カプラーユニットに設けられた検知端子と電気的接触可能に上記可動カプラーユニットに設けられた検知端子を備えるカプラー結合検知回路と、ガス充填制御装置とを備え、上記無人搬送車は、搬送物を容器に収納して搬送し、該容器が、内部雰囲気置換可能に給ガス路を介して搭載している不活性ガスボンベと接続された搬送車であって、上記受ガスカプラーユニットは弁を備えた充填用給ガス配管を通して上記不活性ガスボンベに連絡されていることを特徴とするクリーンルーム用の不活性ガスボンベ搭載無人搬送装置のガス自動充填ステーション。