特許
J-GLOBAL ID:200903096997437341
外部高調波発生レーザ発振器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
若林 忠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-284709
公開番号(公開出願番号):特開平7-142802
出願日: 1993年11月15日
公開日(公表日): 1995年06月02日
要約:
【要約】【目的】 外部高調波発生レーザ発振器を、立ち上り時間の高速化および出力安定度の向上が図れるようにする。【構成】 外部高調波発生レーザ発振器10は、第2高調波光発振器11から出射されるCW-QスイッチNd:YAGレーザの第2高調波光(波長532nm)をβ-BBO結晶15に入射させて第4高調波光(波長266nm)を発生させるためのものであるとともに、回転機構付きλ/2板12と集光レンズ14との間に設けられたポッケルスセル13を用いた第2高調波光の偏光度制御によって第4高調波光のスイッチングを行うものである。
請求項(抜粋):
所定の偏光方向を有する基本波レーザ光または高調波レーザ光を出射するレーザ発振器と、該レーザ発振器から出射された前記基本波レーザ光または前記高調波レーザ光が入射される1/2波長板と、該1/2波長板を透過した前記基本波レーザ光または前記高調波レーザ光を他の高調波レーザ光に変換する非線形光学結晶とを含む外部高調波発生レーザ発振器において、前記1/2波長板と前記非線形光学結晶との間に設けられた、印加電圧に応じて前記基本波レーザ光または前記高調波レーザ光の偏光面を回転させることができる電気光学素子を含むことを特徴とする外部高調波発生レーザ発振器。
IPC (4件):
H01S 3/107
, G02F 1/37
, H01S 3/10
, H01S 3/109
引用特許:
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