特許

J-GLOBAL ID：200903097001996966

扁平な基板を把持しかつ保持するための装置

発明者： ヤロスラフ ツァイダ ,  シュテファン ケムプフ
出願人/特許権者： バルツァース ウント ライボルト ドイチュラント ホールディング アクチエンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-208466
公開番号（公開出願番号）：特開平9-104979
出願日： 1996年08月07日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】 基板を真空室の内部及び外部で、特に迅速かつ確実に把持しかつ保持することができ、しかも特に低コストで製造可能であるような装置を提供する。【解決手段】 グリッパ12,13,14が、ケーシング4の頭部5に設けられた開口部又は貫通孔17,18,19で保持されて案内されており、前記グリッパの旋回運動が、ケーシング4,5の長手方向軸線Lに対して横方向の軸線を中心に行われるようになっており、全てのグリッパの旋回軸線a,b,cが1つの平面eに延びていて、これらの旋回軸線が一緒になって、前記長手方向軸線を取り囲む等辺多角形を形成しており、前記グリッパの、ピストン7に面した端部が、弾性的な材料から成るリング又はガータスプリング15によって一緒に取り囲まれており、前記ガータスプリングにより、前記グリッパが、旋回運動を制限するストッパ面4bに引き付けられている。

請求項（抜粋）：

コンパクトディスクのような扁平な、中央開口部(26)を備えた円環ディスク状の基板(3)を把持しかつ保持するための装置であって、ケーシング(4,5)内に旋回可能に支承されたフィンガ状の複数のグリッパ(12,13,14)と、ケーシング(4)内に移動可能に支承されたプランジャ又はピストン(7)とから成っており、該プランジャ又はピストン(7)が、前記グリッパ(12,13,14)に作用する頭部(8a)を備えている形式のものにおいて、前記グリッパ(12,13,14)が、ケーシング(4)の頭部(5)に設けられた開口部又は貫通孔(17,18,19)で保持されて案内されており、前記グリッパの旋回運動が、ケーシング(4,5)の長手方向軸線(L)に対して横方向の軸線を中心に行われるようになっており、全てのグリッパの旋回軸線(a,b,c)が1つの平面(e)に延びていて、これらの旋回軸線(a,b,c)が一緒になって、前記長手方向軸線(L)を取り囲む等辺多角形を形成しており、前記グリッパ(12,13,14)の、ピストン(7)に面した端部が、弾性的な材料から成るリング又はガータスプリング(15)によって一緒に取り囲まれており、前記ガータスプリング(15)により、前記グリッパ(12,13,14)が、旋回運動を制限するストッパ面(4b)に引き付けられていることを特徴とする、扁平な基板を把持しかつ保持するための装置。