特許
J-GLOBAL ID：200903097013169941
超短パルス光を用いた超高速表面振動の測定法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田北 嵩晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-353922
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172739
出願日： 1991年12月19日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：
【要約】【目的】 非接触、非破壊で不透明試料の音響的不均一部の特徴、及び薄膜-基板界面の接合の良し悪しを測定する方法を提供する。【構成】 短パルスレーザ1から出射されたレーザ光は、ビームスプリッター2で分割され、ポンプ光3とプローブ光4となる。ポンプ光3は不透明試料5中に応力パルスを励起する。プローブ光はプローブ光の光路長を加減するコーナーキューブ6を動かすことにより、ポンプ光に対して時間遅れを生じさせることが出来る。試料5からの反射プローブ光23は、透明板24の裏面25で反射した基準プローブ光22と光検出器7上で重なり合い干渉を起こす。
請求項（抜粋）：
超短パルスコヒーレント光源を用いて、ポンプ・プローブ光学系を構成し、ポンプ光を不透明薄膜に照射し、材質中に応力パルスを励起し、試料表面からの反射プローブ光と、基準表面からの基準プローブ光を光検出器上で重ね合わせ干渉させ、ポンプ光とプローブ光の遅延時間を掃引させ、遅延時間に対し全光強度変化を測定し、応力パルスが検出表面近傍にある時の検出表面の超高速表面振動を測定することを特徴とする超短パルス光を用いた超高速表面振動の測定法。
IPC (2件)：
G01N 21/00
, G01N 29/00 501
