特許

J-GLOBAL ID：200903097018312521

カラーフィルタの残査除去装置

発明者： 本橋 志進 ,  飯田 満
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 白井 博樹 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-044429
公開番号（公開出願番号）：特開平5-241009
出願日： 1992年03月02日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】着色層形成用感材の残査を確実に除去すると共にその再付着を防止する。【構成】基板上に塗布された着色層形成用感材を露光、現像してカラーパターンを形成する際の現像残査を除去する装置であって、前記着色層形成用感材の残査を除去する低圧スプレー装置16を備える第1の現像槽12と、第1の現像槽で除去されなかった残査を除去する高圧スプレー装置19を備える第2の現像槽1と、第2の現像槽の内壁に水を供給する自己洗浄装置20とを有する。また、高圧スプレー装置19の代わりに水に高周波振動を付与するシャワー装置を設けてもよい。

請求項（抜粋）：

基板上に塗布された着色層形成用感材を露光、現像してカラーパターンを形成する際の現像残査を除去する装置であって、前記着色層形成用感材の残査を除去する低圧スプレー装置を備える第1の現像槽と、第1の現像槽で除去されなかった残査を除去する高圧スプレー装置を備える第2の現像槽と、第2の現像槽の内壁に現像液を供給する自己洗浄装置とを有することを特徴とするカラーフィルタの残査除去装置。