特許
J-GLOBAL ID:200903097021647305

洗浄方法及び装置並びに洗浄ノズル

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 小林 和憲 ,  飯嶋 茂 ,  小林 英了
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-182620
公開番号(公開出願番号):特開2009-018250
出願日: 2007年07月11日
公開日(公表日): 2009年01月29日
要約:
【課題】微細な凹凸を有する被洗浄面の汚れを効率良く洗浄する。【解決手段】ノズル本体11に、気体噴出口15と液体噴出口16とを設ける。気体噴出口15を中心とする同心円上に一定ピッチで3個の液体噴出口16を形成する。気体噴出口15から圧縮エア36を噴出し気体噴流66を形成する。液体噴出口16から洗浄液46を噴出し液体噴流65を形成する。気体噴流66に7°の交差角度θで交差するように、液体噴出口16を構成する孔を傾斜させる。液体噴流65の交差部70に気体噴流66を衝突させることで、洗浄液46を粉砕・分割して微細液粒71にする。微細液粒71を気体噴流66で加速させ、被洗浄面75に衝突させる。微細液粒71が被洗浄面75の微細な凹部まで入り込み、汚れを除去する。気体噴流66の被洗浄面75への衝突による衝撃波で被洗浄面75を振動させ、汚れやゴミを浮かせ、除去する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
被洗浄面に液体を噴出して洗浄する洗浄方法において、 前記被洗浄面に向けて気体を噴出して気体噴流を形成し、 前記気体噴流に向けて液体を噴出して液体噴流を形成し、前記気体噴流との交差部で該気体噴流によって前記液体噴流の液体を微細液粒に粉砕し、前記微細液粒を気体噴流によって加速させて前記被洗浄面に衝突させることを特徴とする洗浄方法。
IPC (3件):
B08B 3/02 ,  B08B 5/02 ,  B60S 3/04
FI (3件):
B08B3/02 G ,  B08B5/02 A ,  B60S3/04
Fターム (14件):
3B116AA31 ,  3B116AB53 ,  3B116BB36 ,  3B116BB88 ,  3B116BB90 ,  3B201AA31 ,  3B201AB53 ,  3B201BB36 ,  3B201BB88 ,  3B201BB90 ,  3B201BB92 ,  3B201BB96 ,  3D026AA05 ,  3D026AA18
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)

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