特許
J-GLOBAL ID：200903097025598724
表面弾性波素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上代 哲司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-034754
公開番号（公開出願番号）：特開平5-235683
出願日： 1992年02月21日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】【目的】 数百MHzから数GHzに動作周波数を持ち、大きな伝播速度及び電気機械結合係数を有する、ダイヤモンドを用いた表面弾性波素子を提供する。【構成】 ダイヤモンド層あるいはダイヤモンド状炭素層の上にZnO層を積層し、その上にくし型電極を配置してなる表面弾性波素子において、ZnOの膜厚の範囲を波長との関係で規定し、同時に表面弾性波のモードを特定する。【効果】 極高周波域において使用出来る表面弾性波素子を提供することが出来る。表面弾性波素子の例としてはフィルターに加えて、共振器、遅延線、信号処理素子、コンボルバ、コリレータ等が挙げられる。
請求項（抜粋）：
ダイヤモンド層あるいはダイヤモンド状炭素層の上にZnO層を積層し、その上にくし型電極を配置してなる表面弾性波素子において、ZnO層の厚みをH、表面弾性波の波長をλとして、(2π・H/λ)の値が、(2π・H/λ)=0.9〜2.3を満たす構造で励起される、表面弾性波の2次モードを利用することを特徴とする表面弾性波素子。
引用特許：
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