固体撮像素子とその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山下穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-184172
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013734
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、表面反射光を防止した遮光層や、光反射防止膜を用いることにより、フレア等の悪影響を防止するとともに、微細加工の精度を向上した固体撮像素子及びその製造方法を提供することにある。【構成】配線金属層8上に光反射防止層14を有することを特徴とする固体撮像素子であり、また、遮光層12上に光反射防止層13を有することを特徴とする固体撮像素子である。また前記光反射防止層として、TiN,Ti,Ti/TiN,TiON,TiWのいずれかを用いることにより、反射光の悪影響を防止することができる。

請求項（抜粋）：