特許

J-GLOBAL ID：200903097032251950

露光装置およびデバイス製造方法

発明者： 佐藤 光弥
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-014023
公開番号（公開出願番号）：特開2000-216074
出願日： 1999年01月22日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】 露光光やその他の理由によるシャッタ羽根の温度上昇や変形により生じる問題の発生を防止する。【解決手段】 放電灯1からの露光光を露光シャッタ7により開閉しながら原板50のパターンを基板61に露光する露光装置およびデバイス製造方法において、露光シャッタの異常を検出するようにする。異常検出は、シャッタ羽根の露光光の反射率が所定値以下になった場合を露光シャッタの異常として検出する。あるいは、シャッタ羽根の周辺に露光光の漏れを防止するために設けられた導電性の遮閉板と導電性のシャッタ羽根との電気的な接触を検出することにより露光シャッタの異常を検出する。露光シャッタの異常が検出された場合は、放電灯の点灯を中止し、または放電灯への投入電力を下げる。あるいは、露光シャッタの駆動を停止する。さらには装置全体の運転を中止し、異常が検出された旨の警報または表示を行なう。

請求項（抜粋）：

露光光源としての放電灯と、前記放電灯からの露光光の光路を開閉する露光シャッタとを備えた露光装置において、前記露光シャッタの異常を検出する異常検出手段を具備することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 E ,  G03F 7/20 521

Fターム (7件)：

5F046BA04 ,  5F046CB06 ,  5F046DA03 ,  5F046DB01 ,  5F046DB02 ,  5F046DB14 ,  5F046DC02