特許

J-GLOBAL ID：200903097041257708

ニッケル-リン合金に使用するCMP組成物

発明者： ワード,ダグラス エドウィン ,  ソロモス,デイビッド ピーター
出願人/特許権者： サンーゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド
代理人 (5件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  関根 宣夫 ,  西山 雅也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-571364
公開番号（公開出願番号）：特表2005-518473
出願日： 2003年02月18日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：

本発明は、ニッケル/リン合金で使用するためのCMP組成物に関する。この本発明のCMP組成物は、研磨材粒子及び酸化剤、酸化剤の作用を調節する調節剤、それぞれホスホン酸基及びアンモニウム基又はアミン基を有し、且つ随意に有機カルボン酸基を有する、除去された物質を封鎖する第1及び第2の促進剤を含有する。

請求項（抜粋）：

(a)酸化剤、 (b)リン酸基又は亜リン酸基を有する、前記酸化剤の作用の調節剤、 (c)ホスホン酸基を有する第一促進剤、 (d)アミン基又はアンモニウム基を有する第二促進剤、及び (e)水、 を含有するpH2.4〜2.6の組成物中に、粒径15〜80nmのシリカ、アルミナ、チタニア、セリア、ジルコニア、及びそれらの混合物からなる群から選択される研磨材粒子が分散している分散液を含む、CMP組成物。

IPC (3件)：

C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  G11B5/84

FI (4件)：

C09K3/14 550D ,  C09K3/14 550Z ,  B24B37/00 H ,  G11B5/84 A

Fターム (9件)：

3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058DA02 ,  3C058DA17 ,  5D112AA03 ,  5D112AA24 ,  5D112BA09 ,  5D112BD06 ,  5D112GA14