特許

J-GLOBAL ID：200903097046808338

静電チャックデバイス及びその製造方法

発明者： 川南 修一 ,  青木 一郎
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-285070
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110884
出願日： 1999年10月06日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 温度変化のある環境下であってもそりや剥離のない、また、温度の高い環境下であっても用いることのできる静電チャックデバイスを提供し、その製造方法をも提供すること。【解決手段】 セラミックス製の静電チャックと、この静電チャックを固定する金属-セラミックス複合材料製の基台からなる静電チャックデバイスであって、該静電チャックと基台とが、Mgを含むアルミニウム合金からなるロウ材で接合されていることとした静電チャックデバイス。その製造方法であって、該静電チャックと基台とを固定する方法が、静電チャックと基台との間にMgを含むアルミニウム合金からなるロウ材を装填し、それを窒素中で熱処理し接合することにより固定する方法であることとした静電チャックデバイスの製造方法。

請求項（抜粋）：

セラミックス製の静電チャックと、この静電チャックを固定する金属-セラミックス複合材料製の基台からなる静電チャックデバイスであって、該静電チャックと基台とが、Mgを含むアルミニウム合金からなるロウ材で接合されていることを特徴とする静電チャックデバイス。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C04B 37/02

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  C04B 37/02 B

Fターム (12件)：

3C016GA10 ,  4G026BA01 ,  4G026BA03 ,  4G026BB14 ,  4G026BB16 ,  4G026BB35 ,  4G026BF33 ,  4G026BG02 ,  4G026BH06 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA17