複合酸化物薄膜フィルムの製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-045937
公開番号（公開出願番号）：特開平6-088211
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】【目的】長さ方向に均一な特性をもつ長尺複合酸化物薄膜フィルムを作成する方法を提供することにある。【構成】真空蒸着による複合酸化物薄膜の作成において、蒸着源を実質的に単一組成からなる複数個に分け、その中に少なくとも1種の酸化物材料を含み、加熱源としては少なくとも、1つの電子銃を用いることによって、プラスチックフィルム上に蒸着することにより、長さ方向に均一な特性をもつ長尺複合酸化物薄膜フィルムを作成できるようになり、歩留まりを大幅に向上することができた。

請求項（抜粋）：

真空蒸着による複合酸化物薄膜の作成において、蒸着源を実質的に単一組成からなる複数個に分け、その中に少なくとも1種の酸化物材料を含み、かつ、加熱源として少なくとも、1つの電子銃を用いることによって、プラスチックフィルム上に蒸着することを特徴とする長尺複合酸化物薄膜フィルムの製造方法。

IPC (3件)：

C23C 14/24 , B32B 9/00 , C08J 7/06

引用特許：

審査官引用 (18件)

特開昭63-244530
特開平1-111722
特開平2-156078

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