特許
J-GLOBAL ID：200903097049400860
転写用金属膜及びセラミック積層電子部品の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮▼崎▲ 主税 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-248126
公開番号（公開出願番号）：特開平8-115847
出願日： 1994年10月13日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【目的】 キャリアフィルムに支持された金属膜を小さなプレス圧で転写することを可能とする、転写用金属膜及び該転写用金属膜を用いたセラミック積層電子部品の製造方法を得る。【構成】 キャリアフィルム1上に薄膜形成法によりAg膜2及びPd膜3からなる転写用積層金属膜4を形成するにあたり、Pd膜3の成膜途中において電解により金属膜を部分的に除去し、積層金属膜4を得、該積層金属膜4をパターニングした後、金属膜4上にセラミックグリーンシートを成形し、金属膜-セラミックグリーンシート一体化シートを熱転写により積層することによりセラミック積層電子部品用の積層体を得る。
請求項（抜粋）：
キャリアフィルム上に薄膜形成法により少なくとも1層の金属膜を形成する工程と、前記金属膜を電解により部分的に除去する電解工程とを備えることを特徴とする、転写用金属膜の製造方法。
IPC (4件)：
H01G 4/12 364
, C04B 41/88
, C23C 14/02
, H01G 4/30 311
