特許
J-GLOBAL ID：200903097051214241
焦点検出手段を有した観察装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-259653
公開番号（公開出願番号）：特開平5-072467
出願日： 1991年09月11日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【目的】 試料面の観察と対物系に対する試料面の合焦状態を高精度に検出することができる焦点検出手段を有した観察装置を得ること。【構成】 照明系からの照明光束を対物系を介して被検面に照射し、該被検面を該対物系と結像系により観察すると共に焦点検出系からの検出光束を該対物系を介して該被検面に入射させ、該被検面からの反射光を光電変換素子で受光し、該光電変換素子からの信号を利用して該被検面に対する該対物系の合焦状態を検出する際、該対物系の瞳面との共役面に該照明光束と該検出光束とを空間的に分離する分離手段を設けて該検出光束を該光電変換素子に導光していること。
請求項（抜粋）：
照明系からの照明光束を対物系を介して被検面に照射し、該被検面からの反射光を該対物系を介して結像系により所定面上に導光して、該被検面を観察する際、焦点検出系からの検出光束を該対物系の瞳面上の該照明光束が通過しない領域を通過させて該被検面に入射させ、該被検面からの反射光を用いて該被検面に対する該対物系の合焦状態を検出したことを特徴とする焦点検出手段を有した観察装置。
IPC (2件)：
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