特許

J-GLOBAL ID：200903097058349002

光散乱ディスク、その使用及び波面測定装置

発明者： ベークマン,ウルリヒ
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
代理人 (9件)： 杉村 憲司 ,  澤田 達也 ,  冨田 和幸 ,  下地 健一 ,  青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  河野 努 ,  下道 晶久
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-512753
公開番号（公開出願番号）：特表2008-542799
出願日： 2006年05月23日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：

1.光散乱ディスク、その使用及び波面測定装置。2.1.本発明は、透明基板(1)及び透明基板の表面に隣接し光散乱活性粒子(3)を有する光散乱層(2)を備える光散乱ディスク、そのような光散乱ディスクの使用及びそのような光散乱ディスクを備えた波面測定装置に関する。2.2.本発明によれば、光散乱層は包埋剤を有し、包埋剤は空気より光学的に密でかつ透明基板の対向面に面的に隣接し、光散乱活性粒子は包埋剤によって囲まれている。2.3.例えば、横シアリング干渉による高開口数のマイクロリソグラフィ投影対物レンズの波面測定装置において使用される。

請求項（抜粋）：

透明基板(1)と、 該透明基板の表面に隣接し光散乱活性粒子(3)を有する光散乱層(2)と を具備し、 前記光散乱層(2)は包埋剤(4)を有し、該包埋剤は空気より光学的に密でかつ前記透明基板(1)の対向面に面的に隣接し、前記光散乱活性粒子(3)は前記包埋剤によって囲まれていることを特徴とする光散乱ディスク。

IPC (4件)：

G02B 5/02 ,  G01B 9/02 ,  G01M 11/02 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G02B5/02 B ,  G01B9/02 ,  G01M11/02 B ,  H01L21/30 516A ,  H01L21/30 515D

Fターム (14件)：

2F064AA09 ,  2F064EE08 ,  2F064GG44 ,  2F064GG49 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2G086HH06 ,  2H042BA02 ,  2H042BA11 ,  2H042BA13 ,  2H042BA16 ,  5F046DA13 ,  5F046DB05 ,  5F046DC09