特許

J-GLOBAL ID：200903097059552278

認識記号付石英ガラス治具

発明者： 大越 信一
出願人/特許権者： 株式会社山形信越石英 ,  信越石英株式会社
代理人 (1件)： 服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-148339
公開番号（公開出願番号）：特開平6-338560
出願日： 1993年05月28日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：

【要約】【目的】 使用履歴、運用等の管理をきめ細かく、しかも容易に行い得る石英ガラス治具を提供すること。【構成】 濃色セラミックスで形成した認識記号付石英ガラス治具。

請求項（抜粋）：

濃色セラミックスで形成した認識記号付石英ガラス治具。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/02

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平1-283942