特許

J-GLOBAL ID：200903097065456027

高温摺動部材用硬質膜

発明者： 長坂 浩志 ,  角谷 桃子 ,  宮坂 松甫 ,  片岡 匡史
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-302259
公開番号（公開出願番号）：特開2000-129420
出願日： 1998年10月23日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：

【要約】【課題】 TiN膜の優れた耐摩耗性および低摩擦係数を生かしつつ、耐高温腐食性を向上させた高温摺動部材用硬質膜を提供する。【解決手段】 窒化チタンを主成分とし、Al,Cr,Zr及びHfから選ばれる少なくとも一つの元素を含有する窒化物であって、前記窒化物の結晶粒子の格子定数が0.414nmから0.423nmの範囲にある面心立方晶構造である。

請求項（抜粋）：

窒化チタンを主成分とし、Al,Cr,Zr及びHfから選ばれる少なくとも一つの元素を含有する窒化物であって、前記窒化物の結晶粒子の格子定数が0.414nmから0.423nmの範囲にある面心立方晶構造であることを特徴とする高温摺動部材用硬質膜。

IPC (4件)：

C23C 14/06 ,  B23P 15/28 ,  C01B 21/076 ,  C23C 14/32

FI (4件)：

C23C 14/06 A ,  B23P 15/28 A ,  C01B 21/076 B ,  C23C 14/32 F

Fターム (12件)：

4K029AA02 ,  4K029BA58 ,  4K029BA60 ,  4K029BB07 ,  4K029BC00 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029CA09 ,  4K029DB03 ,  4K029DB18 ,  4K029FA04 ,  4K029JA02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-138459
  
• シール又は軸受
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-128408   出願人：工業技術院長, 株式会社荏原製作所