特許
J-GLOBAL ID：200903097065558199
レーザ同位体分離装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-166809
公開番号（公開出願番号）：特開2000-354740
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：
【要約】【課題】製品回収電極構造に簡単な加工を施してスパッタリング損失を低減させることにより、製品回収効率の向上させることができるレーザ同位体分離装置を提供することにある。【解決手段】レーザ同位体分離装置において、製品回収電極の表面に溝部を設け、電圧を上げることなく、前記製品回収電極の側面下端部でのイオン回収量を増加させ、且つイオン入射により前記製品回収電極からはじき飛ばされた原子をその回収電極自身で再回収することにより、製品回収効率を向上させる。
請求項（抜粋）：
分離対象物質を蒸発させて数種以上の同位体を含む蒸気を生成し、その中の特定同位体のみを励起し、イオン化し、光電離プラズマを作り、前記光電離プラズマ中の特定同位体イオンを製品回収電極によって回収するレーザ同位体分離装置において、前記製品回収電極の表面に溝部を設けることを特徴とするレーザ同位体分離装置。
FI (2件)：
B01D 59/34 A
, B01D 59/34 F
