特許

J-GLOBAL ID：200903097065812958

排ガス処理方法

発明者： 市川 勝 ,  大西 隆一郎 ,  新井 博通
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 坂本 栄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-154043
公開番号（公開出願番号）：特開平8-019727
出願日： 1994年07月06日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】NF3 を含む排ガスの処理方法を提供する。【構成】NF3 を含む排ガスを、4〜7Åの細孔径をもつ、活性炭、モレキュラーシービングカーボン、ゼオライトの中の少なくとも1種類以上の吸着剤を充填した充填層に、-20〜80°Cの温度範囲で通過させる。また、フッ素系酸性ガスを含有する場合、当該ガスを処理するため前段に処理装置を設置する。

請求項（抜粋）：

NF3 を含有する排ガスを、4〜7Åの細孔径をもつ、活性炭、モレキュラーシービングカーボン、ゼオライトの中の少なくとも1種類以上の吸着剤を充填した充填層を通過させることにより、選択的にNF3 を吸着除去することを特徴とする排ガス処理方法。

IPC (3件)：

B01D 53/68 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/54

FI (3件)：

B01D 53/34 134 C ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/34 128