特許

J-GLOBAL ID：200903097067408682

走査型プローブ顕微鏡及びこれを用いた光吸収物質の検出方法並びに顕微分光方法

発明者： 前田 康二 ,  飛田 聡
出願人/特許権者： 前田 康二
代理人 (1件)： 大木 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-272456
公開番号（公開出願番号）：特開2001-305037
出願日： 2000年09月08日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：

【要約】【課題】 走査型トンネル顕微鏡(STM)探針を用いて光吸収物質をナノスケールで直接検出する新しい装置/方法を提供する。【解決手段】 チョッパー6は、STMの定電流制御が追随できないほど高い変調周波数でp-GaAs10表面にギャップ光(波長788nm,12mW/mm2)を入射角45°で断続照射する。ロックインアンプ3は、変調トンネル電流波形Itをロックイン検波して、トンネル電流振幅△Iを求める。これによる二次元分布像には、通常のSTMトポ像には存在しない明るいコントラスト部分が観察される。これは、試料10の表面下の孤立欠陥における非発光再結合により局所的に発生した熱が周囲に拡散し、欠陥付近の表面で特に大きな熱膨張変位を起こすためである。このことにより試料10中の欠陥を検出できる。

請求項（抜粋）：

試料に近接して設けられる探針と、前記探針が前記試料の表面に近づいたときに生じるトンネル電流を受けて前記トンネル電流を一定に保持するように前記探針と前記試料間の距離を制御する負帰還制御器と、光源と、前記光源の出射光を所定の時間間隔で透過させる変調器と、前記光源の出射光から所定の波長の光を取り出す分光器と、前記分光器の出射光を前記試料に照射する照射手段と、前記変調器の変調信号と同期をとることにより前記トンネル電流の振幅を検出して出力する増幅器と、を備える走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 13/12 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30

FI (3件)：

G01N 13/12 B ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30

Fターム (31件)：

2F063AA02 ,  2F063AA43 ,  2F063BB06 ,  2F063DA01 ,  2F063DA30 ,  2F063DB05 ,  2F063DD02 ,  2F063EA16 ,  2F063EB23 ,  2F063FA07 ,  2F063JA10 ,  2F063LA07 ,  2F063LA11 ,  2F069AA12 ,  2F069AA60 ,  2F069BB15 ,  2F069BB40 ,  2F069DD30 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH02 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ07 ,  2F069JJ14 ,  2F069LL03 ,  2F069NN09 ,  2F069QQ05 ,  2F069QQ11